李显凌

专业职务：教授

电子邮件：lxlgwh@sina.com

通讯地址：福建省厦门市集美区石鼓路9号

教育背景

2003.08-2009.07，哈尔滨工业大学，机械电子工程，博士

2001.08-2003.07，哈尔滨工业大学，机械设计及理论，硕士

1992.08-1996.07，哈尔滨工业大学，流体传动及控制，本科

工作履历

2023.03-至今，集美大学海洋装备与机械工程学院，教授

2009.07-2023.02，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，研究员

1996.07-2001.08，中国航发哈尔滨东安发动机有限公司，助理工程师

教学工作简介

主讲课程：

1.《微机电系统》

2.《机电系统创新前沿》

科研工作简介

主要科研方向：

1.超精密制造及检测技术

2.精密装备设计及装调技术

3.机器人系统及应用技术

主持科研项目

1.2024-2025，福厦泉自创区协同专项，福厦泉国家自主创新示范区高端数控装备核心零部件协同创新平台，经费200万元，主持

2.2024-2025，福建省财政厅，高端数控机床导轨/滑枕高精度制造技术及装备研发，经费80万元，主持

3.2009-2018，国家科技重大专项，NA0.75光刻投影物镜系统光机结构与装调技术研究，经费16271万元，主持

4.2018-2023，国家科技重大专项，浸没曝光光学系统核心器件产品研发，经费23000万元，总体组成员

5.2016-2023，国家科技重大专项，浸没式曝光光学系统研制与小批量产品生产能力建设，经费231414万元，总体组成员

6.2017-2022，国家科技重大专项，KrF光刻机曝光系统开发，经费42000万元，总体组成员

7.2009-2018，国家科技重大专项，高NA浸没式投影物镜光学元件制造技术研究，经费16766万元，总体组成员

8.2009-2018，国家科技重大专项，NA0.75光刻投影物镜光学元件检测技术研究，经费13945万元，总体组成员

论文与专利

1.李显凌. 数控非接触式超光滑光学元件加工机床的设计. 光学精密工程, 2012, 20(4): 719-726.

2.李显凌. 多节柔性主动导管的弯曲控制及位置跟踪测量. 电子测量与仪器学报，2013, 27(7): 633-639.

3.张德福，李显凌，芮大为，等. 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展. 中国科学:技术科学. 2017, 47(6): 565-581.

4.张德福，李显凌，葛川，等. 面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计. 仪器仪表学报. 2016, 37(6): 1210-1217.

5.黄斌，李显凌，杨荟琦. 大口径光学元件疵病检测仪的结构设计. 光学精密工程. 2016,24(10): 259-266.

6.Dong Shize, Guo Kang, Li Xianling, et al. Design and Analysis of a Precise Adjustment Mechanism for Lithography Objective Lens Based on Slit Diaphragm Flexure．4th IFToMM Asian Conference on Mechanism and Machine Science (IFToMM Asian MMS) / International Conference on Mechanism and Machine Science (CCMMS)．Guangzhou, PEOPLES R CHINA．DEC 15-17, 2016．

7.张德福，李显凌，东立剑，等. 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计. 光子学报. 2015, 44(9): 0922001.

8.张德福，李显凌. 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响. 中国激光. 2014, 41(7): 0716004.

9.李显凌，付宜利，王树国，韩俊晓．基于传热学分析的导管导向机器人驱动控制技术研究．中国生物医学工程学报．2008，27(3)：416-421

10.Fu Yili, Li Xianling, Wang Shuguo, et al. Research on the Axis Shape of an Active Catheter. The International Journal of Medical Robotics and Computer Assisted Surgery. 2008, 4(1): 69-76.

11.Fu Yili, Li Xianling, Liu Hao, et al. Kinematics of Micro Bending Robot Using Shape Memory Alloy for Active Catheter. 2006 IEEE International Conference on Robotics and Biomimetics, Kunming, 2006. Piscataway, IEEE, 2006: 1594-1599.

12.付宜利，李显凌，梁兆光．基于形状记忆合金的自主导管导向机器人设计. 机械工程学报．2008，44(9)：76-82

13.李显凌，陈华男，倪明阳，等. 光学元件面形检测均匀支撑装置. CN201410260827.6. 2017-01-25.

14.张德福，李显凌，倪明阳，等. 光学元件六自由度定位调节装置、投影物镜及光刻机. CN201710519545.7. 2018-09-04.

15.张德福，李显凌，倪明阳，等. 光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机. CN201610929894.1. 2019-02-05

16.张德福，李显凌，倪明阳，等. 一种光学元件三自由度微位移调节装置.  CN201510665090.0.  2017-04-26

17.张德福，李显凌，赵磊，等. 一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置. CN201410427113.X. 2016-06-01

18.张德福，李显凌，孙振，等. 一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置. CN201410427122.9. 2016-11-16

19.黄斌，李显凌，隋永新，等. 一种四自由度微调机构. CN201611205664.7. 2021-06-15

20.黄斌，李显凌，苏东奇. 一种用于光学检测的干涉仪标准具. CN201610652163.7. 2021-07-16

奖励与荣誉

1.厦门市高层次人才（C类）

2.厦门市“双百人才”

学术兼职

全国机械安全标准化技术委员会第二届机械安全设计分技术委员会（SACTC208SC1）委员

中国机械工程学会高级会员

国家科技重大专项评审专家

国家重点研发计划评审专家