厦门市工模具PVD智能工艺及其应用公共服务平台,2019年成立,由厦门市科技局、集美区政府、集美大学三方共建,2022年福建省科技厅批准建设福厦泉国家自主创新示范区协同创新平台,升级为省级科创平台。平台设备原值2500万元,主要有:电弧离子镀膜设备、大型超声波清洗机、磁过滤阴极真空弧法(FCVA)设备、TAC真空镀膜系统、聚焦离子束扫描电镜等专业及配套设备,积极开展硬质合金刀具、精密模具、关键构件表面PVD功能薄膜涂层服务,满足产品硬度高、耐磨损、自润滑、耐酸碱、寿命长、绿色环保要求,广泛应用于机械、电子、新能源、海工装备、医疗器械、航空航天等领域,项目填补福建省空白。围绕半导体产业需求,平台积极开展高能表面离子相变技术研究及应用,成功开发半导体热沉材料、光器件、蓝宝石材料表面功能薄膜沉积技术,为半导体、电子封装企业提供服务。目前已发表SCI、EI收录学术论文30余篇,授权发明专利8项,获得软件著作权16项。
依托平台,团队获批厦门市重点实验室、福厦泉国家自主创新示范区协同创新平台、福建省产学研合作重点项目、福建省引导性项目、厦门市首个材料类揭榜挂帅等科技计划项目;作为主要发起单位,参与组建“厦门市钨材料研发及应用创新联合体”、“漳州市功能合金材料创新联合体”;承接20多项企业委托技术开发课题,合计科研经费3000余万元;和近百家企业建立良好合作关系并提供技术服务,为企业提供技术培训达600多人次,助力企业技术升级,取得较好经济和社会效益。平台在PVD(物理气相沉积)技术及装备、MEVVA源离子注入技术及装备、磁过滤阴极真空电弧(FCVA)镀膜技术及装备、半导体封装热沉材料表面功能薄膜制备技术及装备等领域取得丰富成果。