团队主要从事精密模具、半导体热沉材料、硬质合金刀具表面高能强化技术(PVD/CVD/PEPVD/PECVD/FCVA)及装备的研究与应用

1.掺杂类金刚石（DLC）涂层的等离子辅助物理气相沉积技术

团队开展不同元素类金刚石等离子辅助沉积工艺关键技术研究和薄膜的性能研究。

特点：硬度高(HV4000-HV7000)，摩擦系数低(0.1),应用于合金刀具、汽车零件、医疗器械、航天航空等领域。

2.长寿命精密工模具和机械零件PVD涂层技术

表面沉积1-5微米纳米陶瓷薄膜。

特点：耐磨、自润滑、干切削。

3.FCVA金刚石粉体镀膜技术

镀钛、镀铜、镀镍、和镀钨金刚石微粉，通过粉体镀膜技术可以有效的延长工具的使用寿命，提高工具的适用性和性能，主要应用于热沉材料、金刚石磨具及PCD刀具。

PCD特点：硬度高(8000)导热系数高(700W/mK),刀具热量传递迅速，摩擦系数低(0.1～0.3),热膨胀系数小，热变形小，加工精度高；用于有色金属、非金属材料、航空航天领域广泛使用的碳纤维增强材料(CFRP)、玻璃纤维增强材料(GFRP)和铝基碳化硅(SiCp/Al)等复合材料加工。

4.第三代半导体封装热沉材料及器件表面功能薄膜制备技术

本团队掌握金刚石粉体金属化及表面功能薄膜制备核心技术，完成“第三代热沉材料制备—烧结成型—硬脆材料精密加工—表面功能镀膜—器件化”完整工艺链本土化，解决大功率半导体/电子器件封装表面散热及焊接核心技术问题：在可伐合金、金刚石、钨铜合金、金刚石—铜复合材料、金刚石—铝复合材料、陶瓷材料、热沉材料全表面或者局部沉积镍、银、金、铜等金属薄膜，实现功能模块的焊接及散热，有利于降低功率模块的运行温度，从而达到提高模块的功率负荷、减小体积、延长寿命。